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常用于：半導體 晶片生產中使用的多關節機器人的振動檢查，
生產半導體晶片時，必須使用多關節機器人進行生產，3軸加速度傳感器MA3系列"可以檢測到發生了異常的沖擊，
3軸加速度傳感器MA3系列"通過模擬電壓的變化輸出X、Y、Z方向的加速度。輸出可導入PLC，設置閾值進行判定
產品簡介
詳細介紹
3軸加速度在線振動傳感器
3軸加速度在線振動傳感器
3軸加速度傳感器引線型
半導體晶片生產中使用的多關節機器人的振動監視開發·面向品質管理的事例介紹
生產半導體晶片時，必須使用多關節機器人進行生產。
在這種情況下，機器人搬運時給產品帶來的異常沖擊會導致產品質量劣化，因此是一個很大的課題。
因此，本公司產品的“3軸加速度傳感器MA3系列"可以檢測到發生了異常的沖擊，因此有組裝到機器人中使用的例子。
“3軸加速度傳感器MA3系列"通過模擬電壓的變化輸出X、Y、Z方向的加速度。輸出可導入PLC，設置閾值進行判定。
根據判定結果通知異常，根據情況也可以停止設備。
“3軸加速度傳感器MA3系列"有通用型和高頻型兩種，可以根據產生的加速度的頻帶選擇。
另外，根據發生的加速度的大小，也可以選擇測量范圍。
設備狀態監測的最佳一臺建議！
支持高G、高頻的3軸加速度傳感器
不需要內置放大器工程，連接也很簡單。
國內生產、高品質、公司內部校正品質支持體制完備。
沖壓機發生異常時自動停止，防止模具破損和成品率下降
拾音器的對應幅度很豐富。沖壓機的高G高頻的沖擊也能測量。
不僅是加工裝置的異常發生，還進行原因的確定，提高成品率、生產效率
通過對加速度的測量數據進行頻率分析等，確定發生異常預兆的部件。
將切削加工裝置與其他公司制造的PLC（序列發生器）連接，也可以進行導入成本低的異常監視
因為是內置放大器，所以只需直接連接已經導入的PLC就可以測量。
| 型式 | 検出範囲 | |
|---|---|---|
| 5VDC入力時 | 3VDC入力時 ※1 | |
| MA3-04AD | ±40m/s2 (±4G) | ±20m/s2 (±2G) |
| MA3-10AD | ±100m/s2 (±10G) | ±50m/s2 (±5G) |
| MA3-20AD | ±200m/s2 (±20G) | ±100m/s2 (±10G) |
| MA3-50AD | ±500m/s2 (±50G) | ±250m/s2 (±25G) |
| MA3-100AD | ±1000m/s2 (±100G) | ±500m/s2 (±50G) |
| MA3-1000AD | ±10000m/s2 (±1000G) | ±10000m/s2 (±1000G) |
※1 弊社モーションレコーダーシリーズに接続した場合、こちらの検出範囲になります。
| 型式 | 検出感度 |
|---|---|
| MA3-04AD | 50mV/m/s2 ±10% (500mV/G ±10%) |
| MA3-10AD | 20mV/m/s2 ±10% (200mV/G ±10%) |
| MA3-20AD | 10mV/m/s2 ±10% (100mV/G ±10%) |
| MA3-50AD | 4mV/m/s2 ±10% (40mV/G ±10%) |
| MA3-100AD | 2mV/m/s2 ±10% (20mV/G ±10%) |
| MA3-1000AD | 0.1mV/m/s2 ±10% (1.0mV/G ±10%) |
| 型式 | オフセット電圧 |
|---|---|
| MA3-04AD | Vcc/2 ±0.2V |
| MA3-10AD | Vcc/2 ±0.1V |
| MA3-20AD | |
| MA3-50AD | |
| MA3-100AD | |
| MA3-1000AD | |
| 型式 | 応答周波數 ※2 |
|---|---|
| MA3-04AD | 0.8～1000Hz |
| MA3-10AD | |
| MA3-20AD | |
| MA3-50AD | |
| MA3-100AD | |
| MA3-1000AD | 0.8～2000Hz |
※2 ±3dBにて規定
| 型式 | 非直線性 |
|---|---|
| MA3-04AD | ±2%FS |
| MA3-10AD | |
| MA3-20AD | |
| MA3-50AD | |
| MA3-100AD | |
| MA3-1000AD | ±1.5%FS |
| 項目 | 仕様?定格 |
|---|---|
| 供給電圧(Vcc) | 3～5VDC |
| 消費電流 | 0.5mA未満 |
| 他軸感度 | ±10% |
| 動作溫度 | ?20～80℃ |
| 保存溫度 | ?30～90℃ |
| 最大印加電圧 | 7V |
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