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池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司
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EV-X300N全新！！EBARA荏原 緊湊型干式真空泵
| 參考價(jià): | ￥ 7326 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- EV-X300N 產(chǎn)品型號
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：154更新時間：2025-03-21 14:37:51
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- www.gor.com.cn
- 網(wǎng)址：
- www.ikedaya.cn/
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產(chǎn)品簡介
| 泵軸位置 | 臥式 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
池田屋實(shí)業(yè)優(yōu)勢供應(yīng) ，并提供報(bào)價(jià)圖片
產(chǎn)品介紹
全新！！EBARA荏原 緊湊型干式真空泵 EV-X300N
全新！！EBARA荏原 緊湊型干式真空泵 EV-X300N
EV-X型
結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié)能，單個裝置可覆蓋多種工藝
適用于中等負(fù)荷工藝
高溫控制
節(jié)能
采用耐腐蝕材料作為標(biāo)準(zhǔn)
提高耐腐蝕性的選擇
不同頻率下性能相同（50Hz/60Hz）
無油
符合 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL 要求
占地面積小
該款中負(fù)荷工序用干式真空泵搭載了荏原d特的節(jié)能技術(shù)，并采用了針對自動化工廠制造而優(yōu)化的模塊化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了進(jìn)一步的小型化和節(jié)能化。
寬范圍的溫度控制擴(kuò)大了適用工藝。
寬范圍的溫度控制擴(kuò)大了適用工藝。
由于同一型號可覆蓋多個工藝，因此可優(yōu)化備用設(shè)備庫存，減少維護(hù)和培訓(xùn)工作，并可靈活適應(yīng)未來的工藝擴(kuò)展。
此外，通過對各工序進(jìn)行最佳溫度控制，可提高工序耐性，并可延長零件的更換周期，有助于降低TCoO。
支持的應(yīng)用示例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等。
支持的應(yīng)用示例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等。
產(chǎn)品規(guī)格
| 型式 | EV-X100N | EV-X200N | EV-X300N |
|---|---|---|---|
| 最大處理風(fēng)量(L/min) | 10,000 | 20,000 | 30,000 |
| 到達(dá)壓力(Pa) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 電源規(guī)格 | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) |
| 到達(dá)底壓時消耗電力(kW)* | 0.9 | 1 | 1.5 |
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