1、不要使用有機化合物，酸類，腐蝕性的溶劑清洗，也不要潤滑任何部位，否則會減少泵的使用壽命，使用水系的溶劑即可。
2、操作人員應熟悉說明書，了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇與被抽氣體相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。
3、抗腐蝕真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
4、抗腐蝕真空泵設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
5、維修時一定要斷開電源，如果電機無法運轉，或者其在壓力下開始運轉緩慢，關掉開關，斷開電源。確保供給電源與銘牌上所示電源一致。檢查插頭，電線還有開關，看是否有老化脫落現象。如果泵過熱，或者噪音過大，立即停止運轉，進行維修。
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