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INFICON英福康膜厚控制儀OLED專用

OLED 應(yīng)用提供最佳測(cè)量精度

Cygnus 2 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎(chǔ)上，增添了更多特別的功能，可幫助您實(shí)現(xiàn) OLED 過程的最大價(jià)值。Cygnus 2 使用我們 ModeLock 頻率測(cè)量系統(tǒng)，提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測(cè)量，速率分辨率可達(dá)每 1/10 秒 0.00433 ?/s，是行業(yè)中的優(yōu)秀者。Cygnus 2 具有其他石英晶體控制器更好的性能、品質(zhì)和功能，賦予您的過程優(yōu)秀的可重復(fù)性。

功能

l INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得最高、更穩(wěn)定的速率和厚度測(cè)量分辨率，即使在速率極低的情況下

l Auto Z 技術(shù)通過自動(dòng)測(cè)定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測(cè)量的精度

l 一個(gè) Cygnus 2 即可同時(shí)、單獨(dú)或以任何組合方式控制最多 6 個(gè)來源，無需使用兩個(gè)或三個(gè)控制器

l 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進(jìn)展?fàn)顩r

l 10 Hz 測(cè)量

l 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz

l USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄

l 多個(gè)源厚度合計(jì)功能

l 測(cè)量低密度、低速率材料的平均速率（使用穩(wěn)定源的低速率 OLED 摻雜材料沉積最多 30 秒）

l 速率顯示分辨率可達(dá) 0.001?

l 4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長(zhǎng)的真空傳感器電纜

l 無沉積控制允許持續(xù)控制源，因?yàn)榛梢酝ㄟ^沉積室不斷循環(huán)

l 6 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控

l 可選以太網(wǎng)通信

l 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

INFICON英福康膜厚控制儀OLED專用

規(guī)格

(1) 工具/密度 = 100/1，基礎(chǔ)頻率 = 6 兆赫茲

(2) Cygnus 2 有 6 個(gè) DAC 輸出標(biāo)準(zhǔn)，還可選擇再添加 6 個(gè)。  可將 12 個(gè)中的任何一個(gè)配置為來源控制電壓或記錄器輸出，但可同時(shí)控制的來源數(shù)量為 6