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CDG025D-電容薄膜真空規INFICON (英福康)
  • CDG025D-電容薄膜真空規INFICON (英福康)
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貨物所在地:浙江杭州市

更新時間:2024-07-06 23:50:34

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電容薄膜真空規INFICON (英福康)簡介:CDG025D電容薄膜規,屬于INFICON薄膜規系列,測量精度可達:0.2%(讀數精度)、自帶溫度補功能,可以在惡劣的生產加工環境中提供穩定的性能。自帶一鍵歸零功能和設定點調整功能。

CDG025D

電容薄膜真空規INFICON (英福康)


電容薄膜真空規INFICON (英福康)


CDG025D電容薄膜真空規,屬于INFICON薄膜規系列。測量精度可達:0.2%(讀數精度)、自帶溫度補功能,可以在惡劣的生產加工環境中提供穩定的性能。自帶一鍵歸零功能和設定點調整功能。選用防腐蝕陶瓷傳感器可應用于耐腐性真空環境。再腐蝕性環境中也能保持良好的零點穩定性;預計壽命可達到數百萬個加壓循環,包括突發大氣壓。傳感器屏蔽(已申請zhuanli)可防止儀表被過程污染。堅固的機械設計和數字電子元件可有效過濾電磁干擾,保持長期的穩定測量。

技術特點:

100 mTorr 1000 Torr 滿量程可選

電源接通后快速穩定

暴露于大氣壓后快速恢復

可選防腐蝕陶瓷傳感器

電磁屏蔽技術保持信號的長期溫度

具有溫度補償

傳感器受防污染保護功能(已申請zhuanli)

一鍵調零功能


典型應用:


  • 用于蝕刻、CVDPVD ALD 的半導體制造設備

  • 數據存儲和顯示器制造設備

  • 工業真空設備

  • 高度精確的壓力測量控制


電容薄膜真空規INFICON (英福康)

技術參數:


參數

單位



參數值

Full scale (FS)                                    

滿量程可選范圍

Torr / mbar



1000 Torr / 1100   mbar

500 ... 10 Torr /   mbar

1 Torr / mbar

0.25 Torr

0.1 Torr / mbar

精度

% of reading



0.2%讀數精度

分辨率

percent FS



0.003%

Lowest reading

zui低讀數




0.01 % FS(滿量程的)

suggested Reading

建議參考讀數




0.05 % FS (滿量程的)

Control pressure

控制壓強時建議讀數范圍




0.5 % FS (滿量程的)

輸出信號(模擬)

V (dc)



0 … +10V

Supply voltage (dc)

供電電源

V (dc)



+14 ... +30 V

Power consumption

功率




≤1 W

響應時間

ms



30

Temperature溫度





Operation (ambient)

操作溫度

°C



+5 ... +50 °C

Bakeout(at flange3)

環境溫度(在法蘭)

°C



≤110 °C

Storage

儲藏溫度

°C



–40 ... +65 °C

暴露于真空的材料




Aluminum oxide   ceramic (AI2O3),   Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass

Degree of   protection      防護等級




IP 30













尺寸圖




尺寸圖




電容薄膜真空規INFICON (英福康)


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