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Bronkhorst FF-M1x緊湊型氣體質量流量計（布瑯軻鍶特FLEXI-FLOW）
小流量氣體質量流量計
FLEXI-FLOW Compact FF-M10 和 FF-M11緊湊型氣體質量流量計適用于工作壓力在真空和17 bar(a)條件下準確測量0…500 mln/min 和 0…20 ln/min之間的流量。儀表結合基于毛細管MEMS技術快速穩定的熱式質量流量傳感器和可靠準確的旁路結構。基于TCS技術，建立準確的質量流量測量，不受溫度和管路壓力變化影響。與集成溫度和上下游壓力傳感器相結合，22種氣體的嵌入式數據庫實現精準集成轉換。多參數儀表可提供過程信息：
l FF-M10：流量+溫度
l FF-M11：流量+溫度+上下游壓力
緊湊型氣體質量流量計
l 集成氣體轉換模塊
l 22種氣體嵌入
l 多參數輸出：質量流量、溫度和壓力
l USB-C和藍牙通信
l Namur NE107狀態指示
Bronkhorst FF-M1x緊湊型氣體質量流量計（布瑯軻鍶特FLEXI-FLOW）
技術參數
測量/控制系統 | |
流量范圍（可提供中間范圍） | 最小 0…500 mln/min 最大 0…20 ln/min (基于 N2) |
壓力范圍 | FF-M10：不可用 / FF-M11：0…17 bar(a) |
準確度（包括線性）（基于實際校準） | 高達 ±0.5% Rd 加 ±0.1% FS (N2/空氣/O2)；對于其他氣體，增加轉換不確定度 |
重復性 | 流量傳感器：< ±0.2% Rd；壓力傳感器：< ±0.2% FS |
調節比 | 最高可達 1:1000 |
最大工作壓力 | 16 bar g |
多氣體/多爐灶 | 嵌入 22 種特別氣體以及這些氣體的任意混合物的氣體數據 |
響應時間（傳感器） | < 30 ms (T63) |
長期穩定性 | 3 年內小于 0.5% FS；之后每年小于 0.2% FS |
安裝 | 任何位置，姿態敏感度可忽略不計 |
溫度敏感性 | 流量傳感器：零點 0.0015% FS/oC；跨度 0.03% Rd/oC；壓力傳感器：零點 0.16 mbar/oC；跨度 0.05% Rd/oC |
溫度精度 | ±0.2℃（儀器本體溫度） |
精密壓力傳感器 | ±0.5% 滿量程 |
壓力敏感度 | 標準：< 0.15% Rd/bar 典型 N2；帶壓力校正：< 0.02% Rd 典型 N2 |
舷外泄漏完整性 | 測試 < 2 x 10-9 mbar l/s He |
機械零件 | |
材質（接觸液體的部件） | 鋁、不銹鋼、氮化硅、環氧樹脂、氧化鋁、玻璃 |
表面質量 | < 1.6 mu Ra（不銹鋼機身< 0.8 mu Ra） |
壓力等級（PN） | 16 bar(g) / 250 psig |
過程連接 | 可選：壓縮型、推入式或面密封聯軸器 |
密封件 | 默認：FKM 51415；如需其他材料，請聯系客服 |
重量 | 鋁制機身為 200 克，SS 316 機身為 300 克 |
防護等級 | IP40 |
儀器本體 | 鋁或不銹鋼（可選） |
電氣性能 | |
電源 | 24 Vdc ± 10% |
最大功耗 | 0.35 瓦 |
數字通信 | Modbus RTU 或 FLOW-BUS（可選） |
支持接口 | USB-C 端口，方便設置；可選藍牙連接，用于監控 |
電氣連接 | 9 針 D-sub（公頭） |
電氣連接 | |
CE | EMC 2014/30/EU、RED 2014/53/EU、RoHS 2011/65/EU |
技術參數如有 變更，恕不另行通知。
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