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| 應用領域 | 環保,生物產業,石油,能源,制藥/生物制藥 |
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YUSHITECH E-P100氣體質量流量控制器
經濟型數字質量流量控制器
該產品采用最新一代的工業級氣體流量檢測芯片、高級電磁比例閥、316L不銹鋼氣路底座，結合高速數字處理電路以及溫度補償算法，可實現最小0.2sc cm 、最大20slm流量范圍內的氣體流量快速控制。該產品可以用于配氣儀、分析儀、真空鍍膜、焊接等應用場景。
MEMS流量傳感器芯片工作原理
基于科學家托馬斯提出的“氣體的吸熱量或放熱量與其質量流量成正比"理論發展而來 。無氣流時， 以Heater為中心的溫度場對稱分布；有氣流時，溫度場分布發生偏移，導致上下游出現溫差，通過測量該溫差，即可推算出流過芯片表面的氣體質量流量。
YUSHITECH E-P100氣體質量流量控制器
產品規格
基本參數 | |
介質要求 | 潔凈干燥無腐蝕性氣體 |
介質種類 | 空氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、甲烷、氬氣等 |
量 程1 （氮氣等效） | （0～20,50,100,200,500）sccm （0～1,2,5，10,20）slm |
精度 | 0.8%F.S.2 或 1.0%S.P. 3 取更大者 |
量程比 | 100:1 |
響應時間4 | ≤ 1s |
重復精度 | ≤±0.2%F.S. |
分辨率 | 0.01sccm，≤100sccm 0.1sccm，≤1slm且>100sccm 1sccm，≤5slm且>1slm 0.01slm，>5slm |
漏率 | ≤1×10-9 Pa m3/s He |
最大耐壓 | 9.8bar |
環境條件 | |
工作溫度 | 0～50℃ |
工作濕度 | 10%～90%R.H. (無結冰、無凝霜) |
工作壓力5 | 0.5-4bar，>2slm 0.5-6bar,≤2slm （具體量程相關） |
儲存溫度 | -20～85℃ |
電氣參數 | |
供電電壓 | DC24V，紋波≤50mv |
功耗 | ≤2.7W |
啟動時間 | ≤1s |
通信接口 | |
接口類型 | D-SUB9 |
模擬控制 | 0～5V |
數字控制 | RS485或RS232 |
數字信號（RS485/RS232） | |
接口類型 | D-SUB9 |
通信速率 | 9600（默認），14400，19200，38400，56000，57600，115200 （可通過指令或上位機修改） |
協議 | Modbus-RTU |
設備地址 | 1（默認）～250 （可通過指令或上位機修改） |
機械參數 | |
接頭類型 | 卡套：8mm、1/4inch、1/8inch 其它可選 |
氣體接觸材質 | 316L不銹鋼、氟橡膠、二氧化硅 |
主體材質 | 底座：316L不銹鋼 外殼：鋁合金 |
密封材質 | FKM氟橡膠 |
重量 | 0.90kg |
備注
* 除非另有說明，本產品標定于以下條件：氮氣、25 ℃、2.5bar差壓 (進氣口3.5barA，出氣口 1barA)、水平放置。
* 建議在入口端安裝尺寸合適的直管段，否則可能會引起精度產生偏差。
* 建議在入口端和出口端匹配盡可能大的接頭，以避免導致額外的壓損。
1 所示量程為氮氣可選量程。
2 %F.S.指誤差占滿量程的百分比。
3 %S.P.指誤差占設定值的百分比。
4 響應時間指達到設定值±2%以內所需要的時間。
5 工作壓力指進氣口與出氣口之間的差壓。
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