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產品型號DIGILEM-CPM-Xe/Halogen

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更新時間：2023-07-27 13:09:14瀏覽次數：394次

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產品簡介

產地類別進口應用領域建材,電子,汽車,電氣實時的干涉測量設備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環，系統能在監控區使用實時監測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規定的膜厚和槽深來進行終點檢測?；谶@個相對簡單的理論，系統不但非常穩定，并且可用于復雜的多層薄膜。

詳情介紹

概要

實時的干涉測量設備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環，系統能在監控區使用實時監測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規定的膜厚和槽深來進行終點檢測?；谶@個相對簡單的理論，系統不但非常穩定，并且可用于復雜的多層薄膜。