測量原理

皮拉尼導熱系數/熱陰極（Bayard Alpert電離傳感器）

氣體類型依賴性

取決于氣體類型

測量范圍毫巴

1000-5e-10毫巴(1000-0.0000000005mbar)

測量范圍托

750-5.0e-10托

過載

4個吸收

準確性

1000…10mbar：大約30％fr | 10…1e-8 mbar：10％fr

重復性

10-1e-2毫巴：2％fr | 1e-2-1e-8毫巴：5％fr

真空接觸材料

不銹鋼1.4307，鎢，鎳，玻璃，鉑，銥，氧化釔

燈絲/陽極

貝亞德·阿爾珀特（Bayard Alpert）：釔銥

發射電流

9 µA，100 µA，1.0 mA，2.0 mA

脫氣法

陽極的歐姆加熱

反應時間

50 ms（開啟/超過發射電流<2s）

工作溫度

5…60°C（Profinet -5…+50°C）

儲存溫度

-40 ... + 65°C

烘烤溫度

法蘭上180°C（關閉電源）

電源供應

20至30 VDC

能量消耗

8 W，除氣額外1 W，繼電器/ LCD 0.8 W，Profinet 1.6 W

輸出信號SL

0-10 VDC，最小10kΩ，測量范圍1.219-8.6 VDC，對數 除了EtherCAT，Profinet

串列介面

RS485：9.6 kBd至115 kBd，8個數據位，1個停止位，無奇偶校驗，EtherCAT，Profinet

切換輸出

2個繼電器，無電勢，50 VAC / 2 A或30 VDC / 2 A，60 VA，EtherCAT和Profinet除外

電氣連接

RS485 / 0-10V：SubD 15針公頭| RS485 / EtherCAT / Profinet：1個M12 A母/ 2個M12 D母

真空連接

DN 25 ISO-KF（VSH87），DN 40 ISO-KF（VSH88），DN 40 CF-F（VSH89）

真空連接

DN 25 ISO-KF（VSH87），DN 40 ISO-KF（VSH88），DN 40 CF-F（VSH89）

項目編號：

DN 25 ISO-KF（VSH87D），DN 25 ISO-KF（VSH87DL），DN 25 ISO-KF（VSH87E），DN 25 ISO-KF（VSH87PN），DN 40 CF-F（VSH89D），DN 40 CF-F （VSH89DL），DN 40 CF-F（VSH89E），DN 40 CF-F（VSH89PN），DN 40 ISO-KF（VSH88D），DN 40 ISO-KF（VSH88DL），DN 40 ISO-KF（VSH88E），DN 40 ISO-KF（VSH88PN）

方面

141 x 69 x 48毫米（VSH88）

防護等級

IP40，IP54，帶配套連接器XB15SL05

重量

475克（VSH88）