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當前位置:愛安德商貿(深圳)有限公司>>熱賣!EBARA荏原制作所>> 計測熱銷EBARA荏原高速排氣用ESA25-D干式真空泵

EBARA荏原高速排氣用ESA25-D干式真空泵

參   考   價: 2258

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協議為準

產品型號計測熱銷

品       牌EBARA/荏原

廠商性質經銷商

所  在  地深圳市

更新時間:2024-08-13 18:30:27瀏覽次數:180次

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泵軸位置 臥式 抽氣量 見參數
輸送介質 其他 外形尺寸 見參數
葉輪數目 單級 應用領域 石油,能源,電子,電氣,綜合
最大工作壓強 見參數
EBARA荏原高速排氣用ESA25-D干式真空泵

產品介紹
ESA型有適合排出氫氣等輕質氣體的排量1,400L/min~10,000L/min的型號,以及適合排氣的20,000L/min~80,000L/min的排量型號。適合大型腔體的高速排氣。 10,000L/min 或更低型號適用于輕質氣體排氣,設計緊湊,并提供耐腐蝕材料選項,非常適合 MO-CVD 等高流量輕質氣體排氣應用。

EBARA荏原高速排氣用ESA25-D干式真空泵

EBARA荏原高速排氣用ESA25-D干式真空泵


可排氣氫氣等輕質氣體的干式真空泵/大室高速排氣

產品介紹

ESA型有適合排出氫氣等輕質氣體的排量1,400L/min~10,000L/min的型號,以及適合排氣的20,000L/min~80,000L/min的排量型號。適合大型腔體的高速排氣。 10,000L/min 或更低型號適用于輕質氣體排氣,設計緊湊,并提供耐腐蝕材料選項,非常適合 MO-CVD 等高流量輕質氣體排氣應用。大型機型在大排量的情況下仍能實現安靜的噪音和低振動,并且還可以選擇有機溶劑排氣,使其成為液晶濺射設備、真空干燥工藝、大型負載鎖等的理想選擇。


荏原株式會社(以下簡稱“荏原")精機電子公司藤澤工廠今年5月干式真空泵累計出貨量達到15萬臺。這是自1986年第一臺機器發貨以來,時隔32年取得的成就。

直到 20 世紀 80 年代,油旋轉泵一直是半導體制造工藝中使用的主流真空泵,但隨著對更清潔的真空環境的需求隨著集成度的提高而增加,我們應用了我們的核心競爭力——旋轉機械技術,我們已經將干式真空商業化。在與氣體接觸的部位不使用密封液的泵。我們的干式真空泵不僅能產生潔凈的真空,而且采用非接觸式密封結構,減少了維護頻率。利用這些功能,應用目前已從半導體和顯示器制造擴展到太陽能電池、LED、鋰離子二次電池和各種分析設備等廣泛的行業。

根據中期管理計劃(E-Plan2019)的措施,荏原將在2019年之前啟動生產效率大幅提高的干式真空泵全自動化工廠,深化與海外生產基地的合作,并繼續響應半導體市場的穩定需求和各領域客戶的要求。


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