溫濕度控制系統(tǒng)在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過此設(shè)備處理后的空氣，溫度控制精度可達(dá)目標(biāo)值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。
溫濕度控制系統(tǒng)
【設(shè)備特點(diǎn)】
1、精確溫濕度調(diào)控：確保曝光機(jī)、顯影/ 涂布設(shè)備等制程良率
2、定制化風(fēng)量設(shè)計(jì)：根據(jù)客戶的具體需求，定制風(fēng)量，送風(fēng)單元結(jié)構(gòu)均勻布置，確保空氣流通的均勻性，進(jìn)一步提升制程質(zhì)量。
3、超準(zhǔn)溫度控制：溫度控制精度高達(dá)±0.01℃，遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，為產(chǎn)線環(huán)境提供了的穩(wěn)定性，從而確保了產(chǎn)品的優(yōu)良率。
【產(chǎn)品應(yīng)用】
1、溫度控制精度：±0.1℃~±0.01℃
2、濕度控制精度：±2%RH~±1%RH
3、廣泛適用領(lǐng)域：該設(shè)備廣泛應(yīng)用于面板廠、晶圓廠、封裝測試廠等精密溫濕度控制領(lǐng)域，助力企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量，確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定與高效。
一、恒溫恒濕機(jī)在面板廠的應(yīng)用
在面板制造過程中，對溫濕度的控制至關(guān)重要。精密恒溫恒濕機(jī)能夠?yàn)槊姘迳a(chǎn)提供穩(wěn)定、精確的環(huán)境。以下是精密恒溫恒濕機(jī)在面板廠的主要應(yīng)用：
1、提高面板產(chǎn)品質(zhì)量：通過精密恒溫恒濕控制，降低面板產(chǎn)品的缺陷率，提高產(chǎn)品合格率。
2、優(yōu)化生產(chǎn)流程：穩(wěn)定的環(huán)境有利于提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。
3、保護(hù)設(shè)備：精密恒溫恒濕機(jī)能夠保護(hù)生產(chǎn)設(shè)備，延長設(shè)備使用壽命。
二、恒溫恒濕機(jī)在晶圓廠的應(yīng)用
晶圓制造對溫濕度的要求高，精密恒溫恒濕機(jī)在晶圓廠的應(yīng)用主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：
1、提高晶圓產(chǎn)品質(zhì)量：穩(wěn)定的環(huán)境有利于降低晶圓缺陷，提高產(chǎn)品質(zhì)量。
2、保障生產(chǎn)安全：精密恒溫恒濕機(jī)能夠防止靜電、氧化等不良現(xiàn)象，確保生產(chǎn)安全。
3、降低能耗：通過優(yōu)化溫濕度控制，降低能耗，提高生產(chǎn)效益。
三、恒溫恒濕機(jī)在封裝測試廠的應(yīng)用
1、封裝測試廠對溫濕度的要求同樣嚴(yán)格，精密恒溫恒濕機(jī)在封裝測試廠的應(yīng)用包括：
2、提高封裝產(chǎn)品質(zhì)量：穩(wěn)定的環(huán)境有利于降低封裝產(chǎn)品的缺陷率，提高產(chǎn)品合格率。
3、保護(hù)測試設(shè)備：精密恒溫恒濕機(jī)能夠保護(hù)測試設(shè)備，延長設(shè)備使用壽命。
4、降低生產(chǎn)成本：優(yōu)化溫濕度控制，降低能耗，提高生產(chǎn)效益。
