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PTHC系列低溫液冷機應用于晶圓測試的高低溫冷熱臺（晶圓測試載物臺）chuck的加熱制冷控溫，載冷劑采用硅油或氟化液循環精確控溫，液冷制冷機主要由加熱循環系統、冷卻系統、控制系統、箱體等組成。控制系統采用PID控制技術，高清觸摸屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件。
設備控溫范圍：-80℃~200℃
Chuck盤面控制溫度：-60℃
溫度穩定性：±0.1℃
制冷系統：采用雙極壓縮制冷系統
定制：可按要求定制-60℃液冷制冷機
設備名稱
制冷方式
操作面板
載冷劑
全密閉系統
介質溫度范圍
溫度精度
溫度穩定性
溫度反饋
控溫對象
顯示分辨率
通信協議
外部輸入
存儲功能
冷凝方式
安全防護
PTHC系列低溫液冷機
雙級復疊制冷
7英寸彩色觸摸屏，中文顯示，操作簡便 、顯示直觀， 可顯示 、記錄 溫度曲線和測試數據
氟化液或硅油
管道材質：SUS304，采用全密閉式結構設計
-80℃ ~ 200℃
出口溫度±0.5 ℃
± 0.1 ℃
設備導熱介質溫度反饋PT100 (回口溫度 、 出口溫度) ，控晶圓測試chuck盤溫度
設備導熱介質出口溫度 (可選擇控制物料溫度)
0.01K
MODBUS RTU協議、RS 485接口+以太網接口
外置測溫傳感器端口 、USB數據接口
試驗執行時， 可實時顯示圖形曲線， 顯示內容；溫度設定實際值，執 行程序周期，程序執行中具有跳文件，保持功能。
風冷
設備運行狀態實時顯示，故障信息自動診斷， 多項報警保護： 電源故 障 ，壓縮機過載 、循環泵熱過載 、制冷低壓報警 、 制冷高壓報警 、超 溫 、溫度模塊故障 、 電加熱防干燒設計等保護功能。
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