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產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

koenn超聲波馬達(dá)Nanomotion Inc

Nanomotion Inc. 的超聲波馬達(dá)可以顯著移動(dòng)載物臺(tái)并以納米精度定位。
用于半導(dǎo)體設(shè)備真空室中的晶圓傳送和電子顯微鏡的微動(dòng)。
這種超聲波馬達(dá)將稱為元件的突起壓在載物臺(tái)上并高速振動(dòng)以移動(dòng)載物臺(tái)。請(qǐng)?jiān)囉门c一般電動(dòng)機(jī)不同的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的執(zhí)行器。も內(nèi)蔵しています。位置制御、荷重制御、圧力制御に適しており、入力段は、3 入力（ SIG、FB1、FB2 ）加算型となっています。特に FB2 は指令信號(hào)とフィードバック信號(hào)が同極性の場(chǎng)合に対応する為に、インバータ回路が內(nèi)臓されていす。入力信號(hào)は電圧（±10V）と電流（4-20mA）に対応しています。出力段は、定格電流が±100mA までのノズルフラッパ型サーボ弁を直接駆動(dòng)する電流出力となっています。又、電圧入力（±10V）型サーボ弁（直動(dòng)弁、三段型サーボ弁）駆動(dòng)用に電圧出力にも対応しています。

主要規(guī)格

電源	DC24V±10%電流0.3A
輸入信號(hào) SIG、FB1、FB2 共用	±10V 電壓輸入阻抗 100kΩ 4 至 20mA 電流輸入阻抗 249Ω
輸出額定值	±100mA以下可通過內(nèi)部DIP開關(guān)選擇或±10V 電流可從5、10、15、20、30、40、50、60、70、80、90、100mA中選擇
環(huán)境溫度、濕度	0 至 +50°C，90% RH 或更低	無結(jié)露
抖動(dòng)信號(hào) 　頻率調(diào)整范圍　Level調(diào)整范圍	200Hz正弦波調(diào)節(jié)范圍在額定輸出電流的20%pp以內(nèi)
外形尺寸	42W x 184H x 102D（毫米）	不包括連接器的突起
大量的	0.65公斤