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新品分享 | 智能動態(tài)配氣儀:高精度靈活控制的氣體混配解決方案

閱讀:97      發(fā)布時間:2025-3-24
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在精密實驗與工業(yè)應用中,氣體配比的有效控制非常重要。優(yōu)云譜近日推出的智能動態(tài)配氣儀,憑借高精度流量控制、寬稀釋比范圍以及智能化遠程操控能力,為氣體混合與稀釋提供可靠的解決方案。無論是實驗室研究、半導體制造,還是環(huán)境監(jiān)測,該設備均可提供穩(wěn)定可靠的氣體配比控制。

新品分享 |  智能動態(tài)配氣儀:高精度靈活控制的氣體混配解決方案

產(chǎn)品亮點

1. 高精度控制,確保精準配氣

采用高性能質量流量控制器(MFC),滿量程精度±0.2%,讀數(shù)精度±0.8%。

最高支持1000:1稀釋比,滿足不同實驗及工業(yè)應用需求。

內置閉環(huán)控制系統(tǒng),長期運行穩(wěn)定可靠。

2. 快速響應,無需預熱

響應時間<100ms,即開即用,減少等待時間。

啟動預熱時間<1秒,大幅提升實驗效率。

3. 智能混配,多氣體適配

內置20種基礎氣體,可自定義10種混合氣體,適應多種應用場景。

多種流量選擇,支持10sccm至50slpm范圍,適用于不同實驗需求。

具備電磁比例閥調控,提升混合精度與一致性。

4. 數(shù)字化控制,遠程監(jiān)測

采用RS-485 Modbus RTU通信模式,支持遠程監(jiān)控與自動化控制。

高清顯示屏,直觀顯示流量、氣體配比等關鍵信息。

可通過軟件進行數(shù)據(jù)存儲與導出,方便實驗記錄與分析。

5. 適應多種工作環(huán)境,安裝便捷

設備耐壓達1MPa,工作溫度范圍0-50℃,濕度0-100%(非冷凝),確保長時間穩(wěn)定運行。

緊湊設計,無方向安裝限制,適用于各種實驗環(huán)境。

應用領域

氣相色譜、液相色譜:精確控制載氣及輔助氣體配比。

半導體制造:應用于CVD、ALD等工藝的氣體供給系統(tǒng)。

環(huán)境監(jiān)測:氣體分析儀、氣體傳感器校準等應用。

材料制備實驗:薄膜沉積、催化研究等實驗。

氣體發(fā)生器與混氣系統(tǒng):高精度配氣,保障實驗一致性。

總結

智能動態(tài)配氣儀集高精度、靈活控制、智能化管理于一體,為實驗及工業(yè)應用提供高效便捷的氣體配比解決方案。無論是在科研實驗室還是工業(yè)生產(chǎn)線上,它都是精準氣體控制的理想選擇,助力更高效、更穩(wěn)定的實驗和生產(chǎn)流程!



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