TESCAN VEGA掃描電鏡SEM是TESCAN第 四代產品中的一員，配置的無物鏡光闌鏡筒， 實現超大視野、高分辨及大景深成像，并且便于優 化電子束參數，實現優化成像觀察和分析應用。

在TESCAN的Essence™操作軟件中，結合 了掃描電子顯微鏡成像和實時元素分析。這種組合 大大簡化了從樣品中獲取形貌和元素數據的過程， 提供了質量控制、失效分析和實驗室常規材料檢驗 的有效得分析解決方案。

配置新穎的Essence™三維演示功能，保證了 樣品運動時樣品室內探測器的安全。

安全便捷的SingleVac™模式

SingleVac™模式主要用于直接觀察未進行噴 鍍的不導電樣品或是對電子束敏感樣品，這個功能 已經成為了 TESCAN VEGA掃描電鏡SEM的標配功能。 不需要安裝壓差光闌，一鍵就可以切換高低真空模 式，操作簡易且不存在誤操作的可能性。

SingleVac™也可以搭配可選的UniVac™模 式，對于有更多需求的使用者而言，可以對樣品室 低真空進行持續調整，最高可達500 Pa,用于 樣品進行成像和分析。VEGA還能夠提供客戶一款 真空緩沖器(Vacuum Buffer),它可以顯著減少 旋轉泵的運行時間，實現生態效益和經濟效益。

•  SE 分辨率：3 nm @ 30 kV

•  8 nm @ 3 kV

•  超大觀察視野，最大可達50 mm

•  強大的低倍性能，為大樣品的觀察和定位提 供了便利

•  *集成的Essence™ EDS功能，可以快 速，輕松地從成像切換到元素分析操作

•  不需安裝壓差光闌，一鍵實現高真空到 SingleVac™低真空模式的切換，并實現低 真空模式下的大視野

•  可選配TESCAN 一體化EBIC, CL等諸多 探測器和第三方分析擴展附件。
 

　　掃描電鏡（Scanning Electron Microscope，SEM）是一種高分辨率顯微鏡，可以在非常高的放大倍數下觀察樣本表面的形貌和結構，因此在材料科學、生物學、醫學、地質學等領域中得到廣泛應用。以下是SEM的用途詳細介紹。

　　1.材料科學

　　在材料科學中，SEM是一種非常重要的儀器，可以用于研究各種材料的表面形貌、結構、化學成分以及晶體缺陷等。例如，SEM可以用來觀察金屬、陶瓷、塑料等各種材料的表面形貌和表面缺陷，以及納米材料的尺寸和形狀。此外，SEM還可以用來研究各種材料的表面處理和改性效果，例如電鍍、涂層、噴涂等。

　　2.生物學

　　在生物學中，SEM可以用來觀察各種生物樣本的表面結構和形貌，例如細胞、微生物、組織和器官等。SEM可以在非常高的放大倍數下觀察這些生物樣本的微觀結構，以便研究它們的形態、結構和特性。例如，SEM可以用來觀察細胞表面的紋理和微絨毛，以及不同類型的細胞之間的區別。

　　3.醫學

　　在醫學中，SEM可以用來研究各種疾病的病理變化和生理機制。例如，SEM可以用來觀察病毒、細菌和其他微生物的結構和形貌，以便研究它們的感染機制和生長規律。此外，SEM還可以用來觀察各種組織和細胞的形態和結構，以便研究疾病和細胞功能等方面的問題。

　　4.地質學

　　在地質學中，SEM可以用來研究各種巖石和礦物樣品的微觀結構和形貌。例如，SEM可以用來觀察礦物晶體的晶體形態、晶面角度和晶面結構，以便研究不同巖石和礦物的成因和演化歷史。此外，SEM還可以用來觀察巖石和礦物中的微觀顆粒和微生物遺骸等，以便研究它們的性質和來源等問題。

　　5.環境科學

　　在環境科學中，SEM可以用來研究各種污染物和生物樣本的微觀結構和形貌，以便研究它們的污染機理和治理方法。例如，SEM可以用來觀察污染水體中的微生物和微小顆粒，以便研究它們對水體生態系統和水質的影響。此外，SEM還可以用來研究空氣中的顆粒物和化學物質等，以便研究大氣污染的來源和治理方法。

　　6.其他領域

　　除了上述領域，SEM還可以用于多種其他領域的研究。例如，SEM可以用來研究納米材料的結構和性質，以便開發更好的納米材料應用；此外，SEM還可以用來研究電子元器件、光電信息材料等，以便開發更好的新材料和新技術。總的來說，SEM是一種非常重要的儀器，可以在多種領域的研究中發揮重要作用。