LYRA3系列是在MIRA3掃描電子顯微鏡平臺 上結合竦(Ga)離子源聚焦鏡筒的雙束(F舊-SEM)系 統，繼承了 MIRA3掃描電鏡強大的綜合分析功能， 并將二維形貌觀測和分析擴展到三維領域。

LYRA3系列專門針對科研機構與企業單位對 FIB-SEM的使用及需求設計制造，大束流、高分辨 的特點使其在EDS、WDS、EBSD、3D斷層掃描 分析等領域具有特優勢。3系列可同時進行 加工和觀測，實現精確地定位切削、沉積，適用于 微納尺度的加工和TEM制樣等工作。

高性能離子系統

3系列配有高重復性馬達驅動光闌轉換器 的聚焦離子束鏡筒，可同步實現SEM成像和FIB蝕 刻沉積。并且，3系列提供兩款高性能的FIB 鏡筒供選擇：

•  適合于高速準確的截面切割和TEM樣品制備的高 性能CANION型FIB鏡筒。

•  超高成像和樣品處理分辨率的COBRA型FIB鏡 筒，分辨率達到2.5 nm @ 30 kVo

•  SEM 分辨率：1.0nm@30kV

•  F舊分辨率：2.5nm@30kV

•  3D立體成像技術可提供實時SEM和三維可 視化F舊蝕刻、沉積圖像

•  GIS氣體注入系統，有多種氣體源可選，能 夠實現選擇性切削和沉積

•  簡單易用的軟件，設有可編程參數，適用于 各種基本和復雜的形狀繪制

•  強大的擴展分析能力，可集成多種分析附 件，實現樣品的綜合微區分析

1.超高分辨的3D EBSD應用。

2.高質量的超薄TEM薄片制備。

3.制備具有1 pm頂端半徑的高精度納米柱，用于進行機械測試使用。

4.小鼠小腦組織三維重構，2 kV連續成像，重構尺寸：6.5 x 6.6 x 5.7卩m3。