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| 價格區間 | 面議 | 儀器種類 | TOF |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,化工,能源 |
產品簡介
詳細介紹
PICOSUN™P-1000系統專門對于3D結構物體 進行批量涂層加工，例如： 機械零件、玻璃或金屬片、硬幣、珠寶以及醫療植入器械。主要的應用包括制備各種各樣的鈍化層和阻擋 層， 顯著提高器件的性能和壽命。巧妙、創新 的設計使得PICOSUN™ P-1000 ALD系統在具 有制備高均一性的高質量ALD薄膜的同時能 夠有很高的產量， 并且是市場上保養、維護時 間低，購置成本最小的ALD系統。這些都已 經在實際生產中得到證實。
可靠、快速且易于維護的PICOSUN™ P-1000 ALD系統代表了工業化ALD工藝水平！
PICOSUN™P-1000襯底尺寸和類型
• 大小不等的3D結構物件（例如： 機械零件、 玻 璃或金屬片、 硬幣、 珠寶以及醫療植入物等）
工藝溫度
• 50 – 400°C
標準工藝
• Al2O3, ZnO, TiO2
基片裝載
• 通過裝載工具進行手動裝載（例如： 叉車）
前驅體
• 液態、固態、氣態、臭氧源
• 源瓶余量傳感器，提供清洗和裝源服務
• 6根獨立源管線， 最多加載10個前驅體源