目錄:廣州金程科學(xué)儀器有限公司>>等離子表面處理儀>> V1000/V1000X/V1000XS雅馬拓YAMATO高頻等離子清洗機(jī)表面清潔機(jī)
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更新時(shí)間：2024-08-26 20:25:54瀏覽次數(shù)：1265評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,電氣 |
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廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)V1000/V1000X/V1000XS，13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機(jī)，搭載RIE·DP 雙模式。硅晶圓的灰化及蝕刻、基板表面污垢處理、IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理、半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗、自然氧化膜·有機(jī)物去除、界面活性處理、表面污染物去除。
雅馬拓YAMATO高頻等離子清洗機(jī)表面清潔機(jī)
儀器特點(diǎn)：
硅晶圓的灰化及蝕刻。
基板表面污垢處理。
IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗。
自然氧化膜·有機(jī)物去除。
界面活性處理。
表面污染物去除。
型號(hào) | V1000 | V1000X | V1000XS |
等離子模式 | DP/RIE | ||
高頻電源 | 13.56MHz | ||
輸出功率 | Max1000W | Max1000&1500W | |
有效電極尺寸 | W280xD280mm | W300xD300mm | W400xD375mm |
電極 | 平行平板 | 2段電極（獨(dú)立） | 平板（多目的） |
反應(yīng)氣體 | 聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝） | ||
真空泵（標(biāo)配） | 約1000L/min | 約1500L/min | 1000&1500L/min |
安全裝置 | 門(mén)檢測(cè)開(kāi)關(guān)、連鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開(kāi)關(guān)、溫度過(guò)升防止器等 | ||
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