熱流儀是半導體行業(yè)中用于測量材料熱導率、熱擴散率和比熱容的關鍵設備，廣泛應用于材料研究、工藝優(yōu)化和產(chǎn)品質量控制。
1. 熱流儀工作原理
熱流儀是通過提供溫變環(huán)境來檢測待測試樣的耐溫變性，主要包含熱沖擊和溫度循環(huán)兩種檢測模式。
2. 熱流儀產(chǎn)品特點
熱流儀可對熱環(huán)境的準確控制，控溫精度可低至±0.1℃；其內(nèi)部熱環(huán)境可在秒量級中快速變化。采用直接溫度控制的冷/熱空氣流來提供準確的熱環(huán)境。空氣流的控溫范圍由-120℃到+225℃；具有超快速的升/降溫速率，溫度變化可在幾秒內(nèi)完成。
3. 熱流儀應用領域
- 材料研究：評估新材料熱性能。
- 工藝優(yōu)化：優(yōu)化半導體制造工藝。
- 質量控制：確保產(chǎn)品熱性能符合標準。
- 電子產(chǎn)品設計：評估散熱性能。
4. 熱流儀安裝與維護
- 安裝：需由專業(yè)人員操作，確保設備水平穩(wěn)定。
- 維護：定期校準溫度傳感器，清潔樣品室，檢查加熱單元和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。
5. 熱流儀安全注意事項
確保電源符合要求，避免過載；定期檢查電氣連接，防止漏電；緊急情況下立即停機并聯(lián)系冠亞恒溫人員。
熱流儀是半導體行業(yè)控溫的設備，具備高精度測量、寬溫度范圍和多功能性等特點，廣泛應用于材料研究、工藝優(yōu)化和產(chǎn)品質量控制，確保半導體產(chǎn)品的高性能和可靠性。
