目錄:北京精量科技有限公司>>高溫/蒸汽 流量計/控制器>>高溫型 質量流量計/控制器>> ACU20FDH-LH沉積設備用高溫分體氣體流量控制器及流量計
| 氣體滿量程范圍 | 2SCCM~300SLM | 最大工作壓力 | 3MPa/10MPa |
|---|---|---|---|
| 是否帶顯示 | 帶顯示屏 |
一、產品概述： 沉積設備用高溫分體氣體流量控制器及流量計
u 可快速精確測量高溫氣體的體積流量/質量流量
u 采用定制的高速比例控制閥對介質體積流量/質量流量進行精確控制
u 超大可觸顯示屏，操作方便同時開放模擬輸入輸出和RS-485數(shù)字通訊
u 內部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝方向不敏感
u 采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下流體仍舊保持層流運動
u 提供用戶支持，包括技術咨詢、快捷的設備校準服務和有條件的終身質保。
二、產品應用：
-- 已廣泛應用于沉積工藝領域，如陶瓷工藝、半導體、光纖等行業(yè)使用高溫氣體的沉積設備。
-- 多變量測量以及50:1量程可調比，使得僅用一臺熱式高溫分體氣體質量流量控制器及流量計便可取代多臺設備的功效。
-- 精度0.5%FS、重復性0.5%及不到200毫秒的控制響應時間，確保高溫的過程氣體可以流暢的工作。
三、技術參數(shù)：沉積設備用高溫分體氣體流量控制器及流量計
技 術 指 標 | 質量流量控制器 | 質量流量計 | |
量程范圍 | 2SCCM~300SLM | ||
精度 (調零后標準條件下) | ±0.5%F·S（滿量程） | ||
重復精度 | ±0.5%F·S | ||
流量控制比 /測量范圍 | 2%~100%F·S/50：1 | 1%~100%F·S/100：1 | |
工作溫度 | 過流部分：（90~150℃），控制部分：0~70℃ | ||
漏率 | ＜2×10-9 Pa m3/S | ||
機 械 部 件 | 最大工作壓力 | 3 MPa / 10MPa | |
密封材質 | 氟橡膠、全氟醚、金屬密封 | ||
防護等級 | IP40 | ||
底座材質 | 不銹鋼 | ||
氣路接頭 | φ6，φ8，φ10，φ12，卡套、VCR等 | ||
電 氣 性 能 | 單色LCD顯示屏 | 同時顯示實時流量、設定流量 | |
數(shù)字通訊 | 可選：RS232/485，Modbus協(xié)議、Profibus協(xié)議、DeviceNet協(xié)議 | ||
模擬輸入輸出信號 | 0~5VDC/4~20mA | ||
電信號接口 | B9孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插 | ||
供電電壓 | ±15VDC，24VDC | ||
3
化工儀器網(wǎng)