在半導體行業,熱式質量流量計控制器應用較為廣泛,包括一些進口品牌,例如Horiba、MKS、Brooks等日美品牌。
我司產品在實際應用中體現出穩定性好、精度準、零漂小、響應速度快等特點,并且考慮到在半導體相關設備的應用中對于顆粒和潔凈的高要求,使產品所有與氣體接觸的表面均為金屬,同時所有與氣體接觸的金屬表面均進行了嚴格的表面處理,保證一定的潔凈度要求。產品同時針對設備的通訊需求,可提供485Modbus,及DeviceNet等協議匹配上位機控制系統,同時帶有模擬電壓、模擬電流的信號輸入和輸出,客戶可以根據自己的需要選擇使用。
同時也考慮了產品的抗干擾能力,使其可以抵抗較強的電磁干擾。
DeviceNet協議流量控制器
485Modbus協議流量控制器