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供貨周期	一個月以上	貨號	SS-A200-4VM
主要用途	過濾

TKF韓國TK-FUJIKIN過濾器 SS-A200-4VM優(yōu)勢

TK-FUJIKIN 可以提供不同的元件類型，例如不銹鋼和哈氏合金。
金屬元件由SUS316L和哈氏合金經(jīng)金屬粉末特殊處理后
燒結(jié)而成，通過精細(xì)加工的孔徑實現(xiàn)了與傳統(tǒng)粉末燒結(jié)元件相比的高去除率、低壓降。
采用哈氏合金、SUS 燒結(jié)的元件
在高壓范圍內(nèi)仍具有穩(wěn)定的過濾能力、出色的抗腐蝕和耐熱性。
超高純度在線氣體過濾器
■ 全316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)
■ 高溫和動態(tài)壓力應(yīng)用
■ 緊湊的尺寸和可變端接

特征■ 15 至 300SLPM 的寬范圍流量■ 與大多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性。■ 3 納米顆粒過濾能力以最小的壓降保持高流動效率。■ 5Ra 電拋光表面可防止內(nèi)部污染。■ 去離子水清洗后用熱氮氣烘烤，符合半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)。■ Class 100 制造、清潔和包裝環(huán)境。■ 100% 氦泄漏測試。訂購信息

尺寸		聯(lián)系
4	1/4"	虛擬機(jī)	MFS公型
6	3/8"	西南	樂型
8	1/2"

規(guī)格

移除評級	≥ 0.0025 ?
保留	大于 99.9999999999% 去除所有小至 0.0025 um 的顆粒
額定流量@10^9	15 SLPM
	60 升/分鐘
	120 英寸/分鐘
	200 升/分鐘
	300 英尺/分鐘
材料	濾芯	316L不銹鋼
材料	電拋光外殼	SM/DM 316L 不銹鋼
操作條件	最大入口壓力	21 MPa (210kgf/cm2) 在 20 °C
	最大壓差	15 MPa (153kgf/cm2) 在 20 °C
	最高工作溫度	460 °C（惰性氣體）
氦泄漏等級	1 x 10^-9 atm · cc / sec
表面處理內(nèi)部	≤ Ra 5μin

方面

零件編號	一個/毫米	寬/毫米	厘米/毫米	深/毫米	E/毫米	F/毫米	唔
SS-A15-4VM	15.5	53	15.5	27	30	27	84
SS-A15-4SW	10	53	10	27	30	27	73
SS-A60-4VM	15.5	53	15.5	27	30	27	84
SS-A60-4SW	10	53	10	27	30	27	73
SS-A60-6(8)VM	19	53	19	27	30	27	91
SS-A120-4VM	15.5	96	15.5	29	33	30	127
SS-A120-4SW	10	96	10	29	33	30	116
SS-A120-6(8)VM	19	96	19	29	33	30	134
SS-A120-6(8)SW	12	96	12	29	33	30	120
SS-A200-4VM	15.5	98	15.5	35	39	35	129
SS-A200-4SW	10	98	10	35	39	35	118
SS-A200-6(8)VM	19	98	19	35	39	35	136
SS-A200-6(8)SW	12	98	12	35	39	35	122
SS-A300-4VM	15.5	98	15.5	35	39	35	129
SS-A300-4SW	10	98	10	35	39	35	118
SS-A300-6(8)VM	19	98	19	35	39	35	136
SS-A300-6(8)SW	12	98	12	35	39	35	122

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