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API激光干涉儀美國廠家供應
激光干涉儀XD Laser的技術參數:
1.1D激光API激光干涉儀主要可以測量定位誤差
2.3D激光API激光干涉儀可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)
3.5D/6D激光API激光干涉儀可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動角
4.5D/6D標準型API激光干涉儀技術參數:
1) 線性:0.5ppm .
2) 測量范圍:40米(1D可選80米)
3) 線性分辨力:0.001um.
4) 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
5) 范圍:800角秒
6) 滾動角精度:1.0角秒
7) 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
8) 直線度范圍:500um
9) 垂直度精度:1角秒
10) 溫度精度:0.2攝氏度
11) 濕度精度:5%
12) 壓力精度:1mmHg
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美國API激光干涉儀測量精度高,測量方便。
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