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模擬量氣體流量控制器5930D4采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，可以同時顯示和輸出：瞬時 流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時，還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID 調節功能。
| 產品性能參數 | 模擬量氣體流量控制器5930D4 | ||||||
| 精度（調零后標準條件下） | ± 1%Full Scale | ||||||
| 高精度選項（調零后標準條件下） | ±0.5% of Full Scale High Accuracy option not available for units ranged under 5 sccm or over 3000 slm | ||||||
| 重復性 | ± 0.2%Full Scale | ||||||
| 零點漂移和滿量程漂移 | 0.025% Full Scale / oCelsius / Atm | ||||||
| 工作范圍和量程比 | 2% to 100% Full Scale / 50:1 (100:1 optional) | ||||||
| 最大可控流量 | 100% Full Scale | ||||||
| 最大可測流量 | 100% Full Scale | ||||||
| 典型響應時間 | <200 ms | ||||||
| 泄露率 | 1×10-9 atm ·cc/s He | ||||||
| 運行工況 | 5950系列質量流量控制器 | ||||||
| 標準工況(STP) | 25oC & 14.696 psia (standard — others available on request) | ||||||
| 工作溫度 | 0 to +50 oCelsius | ||||||
| 工作濕度范圍（不冷凝） | 0 to 90% | ||||||
| 最大耐壓 (靜壓) | 145 psi(g)/10bar(g) optional:435psi(g)/30bar(g)Max1450psi(g)/100bar(g) | ||||||
| 工作壓差 (入口到出口) | Under 500slm:72.5psi(d)/5bar(d);Above 500slm:145psi(d)/10bar(d) | ||||||
| 對安裝方向的要求 | Full Scale:None | ||||||
| 閥門類型 | Normally Closed | ||||||
| 防護等級 | IP40(IP65 optional) | ||||||
| 接觸介質的材質 | 316L 、417J1 不銹鋼、氟橡膠、熱固化硅橡膠、玻璃增強聚苯硫醚、熱固化環氧樹脂、鋁、金、黃銅、硅、玻璃等。 如果您應用的介質需要不同的材料，請聯系Grylls。 | ||||||
| 通訊和供電 | 5950系列質量流量控制器 | ||||||
| 多功能顯示觸摸屏 | 顯示質量流量、累計流量，氣體系數切換等功能 | ||||||
| 數字通信選項1 | RS-232 Serial / RS-485 Serial / Modbus RTU / PROFIBUS / EtherNet/IP / DeviceNet / Modbus TCP/IP / EtherCAT / PROFIBUS-DP | ||||||
| 模擬通信選項2 | 0-5 Vdc / 1-5 Vdc / 0-10 Vdc / 4-20 mA | ||||||
| 第二通道模擬通信選項2 | 0-5 Vdc / 1-5 Vdc / 0-10 Vdc / 4-20 mA | ||||||
| 電氣接口選項 | 9-pin D-sub (DB9M) / 15-pin D-sub (DB15M) / RJ11 | ||||||
| 供電電壓 | 24 Vdc / ±15Vdc | ||||||
| 供電電流 | under 500slm: 0.50 Amp; above 500slm：1 .0Amp | ||||||
| 1. 數字輸出信號可通訊質量流量、累計流量、流量大小調節等功能。 2. 模擬輸出信號和可選的第二通道模擬輸出信號可選擇傳輸瞬時流量。 | |||||||
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