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6600微小流量質量流量控制器與熱式流量計不同，當使用氣體轉換系數時，6600微小流量質量流量控制器沒有附加的“比熱容"誤差。所以，即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同，也不會影響測量精度。
標準參數(有關選配項，請聯系Grylls） | |
產品性能參數 | 6600微小流量質量流量控制器 |
精度（調零后標準條件下） | ± 1%Full Scale |
傳感器響應時間 | <1 ms |
重復性 | ± 0.2%Full Scale |
零點漂移和滿量程漂移 | 0.2%Full Scale / oCelsius / Atm |
工作范圍和量程比 | 2% to 100% Full Scale / 50:1 (100:1 optional) |
最大可控流量 | 100% Full Scale |
最大可測流量 | 100% Full Scale |
典型響應時間 | <100 ms |
壓力精度（大于1大氣壓時） | ±0.6% of reading |
壓力精度（小于1大氣壓時） | ±0.1 PSIA |
溫度精度 | ±0.75°C |
運行工況 | 6600微小流量質量流量控制器 |
標準工況(STP) | 25oC & 14.696 psia (standard — others available on request) |
工作溫度 | -10 to +60 oCelsius |
工作濕度范圍（不冷凝） | 0 to 90% |
最大耐壓 (靜壓) | Max withstand static pressure 435psi(g), Max operable pressure 145 psi(g) |
工作壓差 (入口到出口) | Under 500slm:72.5psi(d)/5bar(d);Above 500slm:145psi(d)/10bar(d) |
對安裝方向的要求 | Full Scale:None |
閥門類型 | Normally Closed |
防護等級 | IP40(IP65 optional) |
接觸介質的材質 | 316L 、417J1 不銹鋼、氟橡膠、熱固化硅橡膠、玻璃增強聚苯硫醚、熱固化環氧樹脂、鋁、金、黃銅、硅、玻璃等。 |
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