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數字量氣體質量流量計采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值去驅動控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。

數字量氣體質量流量計由質量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調節閥和放大控制電路組成，采用數字信號輸入輸出，具有預熱時間短，零漂小，可靠性高等特點。

流量控制器調節閥和放大控制電路等部件組成。它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成。