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microchem光刻膠 SU-8 2000 性環氧負性光刻膠
microchem 光刻膠SU-8 2000系列性環氧負性光刻膠:SU-8 2025,SU-8 2035,SU-8 2050,SU-8 2075，SU-8 2000是一種高對比度的環氧樹脂基光刻膠，適用于微加工和其他微電子應用領域，需要厚、化學和熱穩定的圖像。SU-8 2000是SU-8的改進配方，多年來被MEMS生產廠家廣泛使用。采用更快的干燥速度，更極性的溶劑體系，可改善涂層質量，提高工藝吞吐量。SU-8 2000有12種標準粘度可供選擇。薄膜厚度0.5到>200微米,可以通過一個單一的涂層工藝實現。暴露的和隨后的熱交聯部分的薄膜是不溶性的液體顯影液。SU-8 2000具有良好的成像特性，能夠產生非常高的展弦比結構。SU-8 2000在360納米以上具有非常高的光學傳輸能力，這使得它非常適合在非常厚的薄膜中近垂直側壁成像。SU-8 2000應用，它是成像，固化和留在設備上。