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深圳市科時達電子科技有限公司
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Ted Pella 108Auto 108鍍膜儀

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具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌

廠商性質經銷商

所  在  地深圳市

更新時間:2023-05-19 13:32:42瀏覽次數:87次

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技術參數:l 自動的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和的導電噴鍍效果。l 通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。

技術參數:

l 自動的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和的導電噴鍍效果。

l 通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。

l 操作容易快捷,可全自動或手動進行噴鍍操作,控制的參數包括自動放氣以及氬氣換氣控制。

l 在自動模式下,可通過兩種方式進行控制鍍膜過程。可通過數字顯示器控制得到可重現的噴鍍效果,

l 數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。

l 可使用多種金屬靶材:Au Au/Pd,Pt,Pt/PdAu靶為標配),靶材更換快速方便。

l 樣品室大小:直徑120mm x 120mm (4.75 x 4.75")

l 樣品臺:可以裝載12SEM樣品座,高度可調范圍為50mm

l 濺射控制:微處理器控制,安全互鎖,可調,電流40mA,程序化數字控制

l 濺射頭:低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環繞暗區護罩

l 模擬計量:真空: Atm - 0.001mbar,電流:0-50mA

l 控制方法: 自動氣體換氣和泄氣功能,自動處理排序,帶有“暫停"控制的數字定時器(5300s),自動放氣.整個操作亦可全手動控制。

l 真空泵:,抽氣速率: 6.0 m3/小時 ,真空度到 0.1mb所需時間30.

l 桌上系統: 真空泵可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統

l 保修期:免費保修一年

Ted Pella 108Auto 108鍍膜儀(圖1)


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