應(yīng)用領(lǐng)域 |
醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,地礦,能源 |
離子 |
聚焦 |
MI4050日立單束聚焦離子束系統(tǒng)是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng):新型電子光學(xué)系統(tǒng),可達(dá)到高水準(zhǔn)的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率,使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能可用于截面加工觀察,高品質(zhì)TEM樣品制備,電路修復(fù),Vector Scan加工,微納米級(jí)微細(xì)圖形及磨具加工,利用沉積功能制作3維構(gòu)造等眾多樣品加工應(yīng)用。
日立單束聚焦離子束系統(tǒng)介紹:
探針電流可達(dá)90nA,實(shí)現(xiàn)快速加工和大面積加工
采用高精度5軸電動(dòng)機(jī)械優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái)
可在樣品臺(tái)移動(dòng)(包括傾斜)時(shí)自動(dòng)對(duì)多個(gè)部位進(jìn)行多種加工
*的操作性能和多種多樣的加工模式
截面制備程序加工
TEM/STEM樣品程序加工
自動(dòng)連續(xù)加工
TEM樣品自動(dòng)連續(xù)精加工軟件
位圖加工
Vector Scan加工
制備納米精度三維結(jié)構(gòu)樣品
使用多路氣體系統(tǒng)(MGS-II)修復(fù)電路
該系統(tǒng)可對(duì)應(yīng)保護(hù)膜材料、配線材料、絕緣膜、加速蝕刻等多種用途,照射多種氣體
鎢沉積氣體
鉑沉積氣體
絕緣膜制備用沉積氣體
氟化氙蝕刻氣體
有機(jī)類蝕刻氣體
碳沉積氣體
豐富多樣的坐標(biāo)鏈接功能
日立高新技術(shù)公司的坐標(biāo)鏈接功能豐富多樣,可確定正確的加工位置和大幅縮短時(shí)間
光鏡圖像與SIM像的鏈接
日立單束聚焦離子束系統(tǒng)雙光標(biāo)功能
與缺陷檢測(cè)設(shè)備建立坐標(biāo)鏈接
已截?cái)嗟木г蛐酒部膳c缺陷檢測(cè)設(shè)備建立坐標(biāo)鏈接
CAD聯(lián)用導(dǎo)航軟件