PI (Physik Instrumente)NEXLINE線性促動器N-216.101長行程納米定位
NEXLINE線性促動器
長行程納米定位,具有高力,PiezoWalk原理
系列特點:
N-216
§ 力量生成達600牛
§ 保持力達800牛
§ 行程20毫米
§ 帶分辨率的集成式直接測量線性編碼器 5納米
應用領域
§ 工業級精度定位
§ 半導體技術
§ 半導體測試
§ 晶圓檢測
§ 平版印刷術
§ 納米壓印
§ 納米測量
§ 強磁場和真空中運動
采用PiezoWalk步進驅動實現納米精度和大進給力 、數個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進驅動中執行步進運動,將動輪向前推進。促動器控制允許以遠低于一納米的分 辨率進行小步進和推進運動。
型號示例:
N-216.101
NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器 ,20毫米,300牛,開環
N-216.1A1
NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器 ,20毫米,300牛,線性編碼器,5納米分辨率
N-216.201
NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器 ,20毫米,600牛,開環
N-216.2A1
NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器 ,20毫米,600牛,線性編碼器,5納米分辨率
詢價采購須知:
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漢達森市場部 李銀
PI (Physik Instrumente)NEXLINE線性促動器N-216.101長行程納米定位
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