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日本島津氦質譜檢漏儀
MSE-2402/2403全自動便攜式氦質譜檢漏儀（干泵外置搭載式）

采用非接觸式干泵為無塵室提供更優化的真空系統。

性能和規格（MSE-2402/MSE-2403）

外形尺寸MSE-2402

外形尺寸MSE-2403

應用領域

• 半導體和平板顯示器制造

• LED制造

• 鍍膜設備

• 制冷設備和空調的元件及部件

• 低溫壓力容器

• 閥門氣密性

• 撿漏航空部件，配件及系統

氦氣檢漏儀：安全、定量、可重復。

氦氣檢漏儀是在真空條件下對泄漏探測和密封性檢驗的理想解決方案。示蹤氣體氦氣是安全的、小而輕的分子，適合于探測小的泄漏。在真空檢驗情況下，氦氣的檢測范圍在 10-2 和 10-13 Pa · m3 /s 之間。氦氣檢漏儀的泄漏檢測是極精準、定量并且可重復的。節拍時間短也是一大優勢。

手持式吸槍或噴槍通常是用氦氣檢測泄漏的方法。但也可以使用自動泄漏的探測解決方案，這種方法是獨立于操作者，并提供相當高的探測速度。整體泄露檢測的設計目的是為了獲得預定的質量和組件的產量水平。

與傳統的泄漏檢測方法相比，例如如泡沫檢驗或壓降方法，使用示蹤氣體的泄漏檢測方法具有提供額外數據的優勢。這些數據可用于改善生產工藝，并成功地檢測到每一處泄漏。