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納米探針臺

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品牌 PicoFemto
型號 NP-3
廠商性質 生產商
所在地 東莞市

屬性

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更新時間：2024-08-21 14:10:54瀏覽次數：2720評價

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產品分類品牌分類

掃描電鏡原位樣品臺

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產品簡介

功能	電性測量、納米操縱

PicoFemto系列掃描電子顯微鏡納米探針臺實現了三維空間上的精確定位，具有小尺寸大行程、高定位精度、操作簡單、能在真空下使用等優點，使用于在SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作及物性測量。

詳細介紹

PicoFemto系列掃描電子顯微鏡納米探針臺基于壓電陶瓷驅動技術，運動無需潤滑，兼容掃描電鏡真空環境，并可在多種溫度范圍內工作；步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。

三軸探針臺由XYZ三個單軸運動臺組合而成。一個SEM腔體內可安裝多個三軸探針臺。平臺上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現微納操縱和測量的目的。

技術指標（單個三軸探針臺）

運動指標	尺寸參數
1. X軸移動行程：±10mm；	1. 長/寬/高: 48.6mm/33.2mm/43.6mm
2. Y軸移動行程：±10mm；	2. 重量：225g
3. Z軸移動行程：±10mm；
4. 運動速度：0-3mm/s；
5. 細調分辨率：0.5nm