光學顯微鏡和電子顯微鏡是清潔度分析領域常用的兩種儀器，那么這兩種分析方法的區別主要從兩方面來看。 從使用條件來看：
光學顯微鏡的信號源是可見光的，可見光的波長較長，可以輕松繞過空氣分子，因此可以在大氣環境下運行。
掃描電鏡的信號源是電子束，相對于可見光，電子束的波長短，所以分辨率高，圖像清晰；不過，較短的波長，繞過空氣分子的能力將會變差，因此掃描電鏡sem內部會通過多級真空泵，將空氣分子抽走，以維持一定的真空度。
從測試結果來看：
由于其價格低廉、操作簡單在清潔度分析領域得到了廣泛應用。在光學顯微鏡下，金屬顆粒會有一定的反光，非金屬顆粒不反光，因此可以根據顆粒是否反光，來大致區分金屬和非金屬，但是局限性是無法分析出具體是哪一種類的顆粒。
掃描電鏡除了可以找到雜質顆粒外，還可以分析顆粒的種類。通過搭配能譜探測器，通過能譜信號，進一步給出顆粒的元素種類和含量信息，進而對照數據庫，就能判斷出顆粒的種類。
那么掃描電鏡sem和清潔度分析對樣品的要求都有哪些？
掃描電鏡對制樣的要求：粉末樣品一定要粘牢，未粘牢的顆粒需要用洗耳球或壓縮空氣吹掃干凈。因為固定不牢的顆粒在抽真空過程中會飄浮起來，會污染光路，嚴重者甚至可撞破能譜探測器的探頭，對掃描電鏡sem會造成一定的損壞。
清潔度分析對制樣的要求：清潔度分析的樣品為濾膜，濾膜樣品不能吹掃。因為部分顆粒物靠重力落在濾膜上，吹掃會損失這部分顆粒，會造成結果的不準確的事情發生。
因此，掃描電鏡的安全性和清潔度分析的準確性產生了矛盾，前者要吹掃，后者不能吹掃，那么該如何解決這一矛盾呢？
兼顧掃描電鏡sem安全性和清潔度分析準確性的制樣方法：濾膜顆粒固定法
為了解決上面的矛盾，我們分享一套簡單有效的方法：濾膜顆粒固定法。將配置好的固定液，滴在錫箔紙上并涂勻，將濾膜平鋪在固定液上。由于毛細現象，固定液會順著濾膜微孔滲到濾膜上表面，將濾膜顆粒固定。
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