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產品型號 | PCE-6V小型等離子清洗機 |
主要特點 | 1、采用氣體作為清洗介質，避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。 2、可短時間內*清洗掉有機污染物。 3、清洗程度可達到分子級。 4、可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。 5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌 。 6、樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現離子蝕刻。 7、廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體 學等領域。 |
技術參數 | 1、電壓：AC220V 10A 2、消耗功率：<500W（包括真空泵） 3、RF電源：輸出功率100W，輸出頻率13.56MHz 4、腔體：Φ190mm×98mm 5、石英管：Φ180mm×55mm，壁厚7mm 6、內腔：Φ165mm×55mm 7、清洗電極：Φ120mm 8、樣品臺：Φ150mm，有效尺寸Φ140mm 9、樣品臺與電極間距：15mm-50mm可調 10、抽氣管：Φ12mm 11、極限真空度：0.1Pa 12、工作真空度：60Pa-500Pa 13、氣路數量：2路（選裝） 14、流量控制器數量：1、2 15、流量顯示儀：2通道 16、氣路接口：Φ6mm 17、加熱樣品臺：Φ140mm，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝） 18、冷卻水壓力：0.2KPa-0.4KPa 19、工作環境：溫度5℃-35℃，濕度<80%（相對濕度）不結露，海拔高度0-2000m |
產品規格 | 尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵），重量：20kg（不含真空泵） |
可選配置 | 1、加熱樣品臺 2、流量控制器（量程10、50、100，zui多可增加2個通道） |
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