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1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR-III
  • 1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR-III
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貨物所在地:遼寧沈陽市

更新時間:2025-03-18 11:11:26

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1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR-III是三溫區(qū)滑軌真空管式爐,可通入混合氣體進行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。本機可在不同氣氛下,在Z大6″的基片上生長多種薄膜。

 

產(chǎn)品型號

  1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5管式爐GSL-1100X-8.5-SR  -III

主要特點

  1爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能。內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備     的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。

  2滑軌式法蘭結(jié)構(gòu),方便取放樣品。

  3設(shè)有K型測溫熱電偶和一個額外的溫度校準檢測系統(tǒng)。

  4三個加熱區(qū)域?qū)崿F(xiàn)更長的溫度區(qū)和一個特定的溫度梯度

  5采用三個PID控制器 ,通過可控硅來進行溫度控制,可以設(shè)置30段升降溫程序。

  6右端法蘭裝載石英管堵,用以阻止熱輻射;左端法蘭上設(shè)有4片磨砂石英擋片,用于阻止熱輻射。

  7已通CE認證。

技術(shù)參數(shù)

  1電源:單相220V  8KW

  2、石英管:外徑Φ216mm,內(nèi)徑Φ208mm,長1300mm

  3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲

  4、加熱區(qū)域:長900mm

  5、溫區(qū):3個,各300mm

  6恒溫區(qū)域500mm(三個溫區(qū)設(shè)置一樣的溫度)

  7、工作溫度:zui高1100連續(xù)工作400-1000

  8、zui大升降溫速率:10/min

  9、控溫精度:±1

  10、真空度:10-2torr(機械泵),10-5torr(分子泵)

  11熱偶檢測口:1

  12、真空接口:KF-25

  13、進氣接口:5路,精密不銹鋼針閥密封

  14、爐體:1000mm×700mm×1060mm

  15、滑軌:600mm

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:1780mm×1780mm×1650mm重量:354kg

標準配件

1

  石英管堵

1

2

  KF-25真空擋板閥

1

3

  KF-40不銹鋼波紋管

1

可選配件

  1軟件接口模塊和PC

  2K型熱電偶(Φ6.35mm×915mm,用于對爐膛溫度校準)

  3冷水機

 

  

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