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產品型號 | GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀 |
主要特點 | 1、真空控制單元全部集合在一個控制盒內。 2、采用獨立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。 3、真空腔體設有1個KF40旁抽閥（直接與前級機械泵相連，方便快速取放樣品，提高效率）、1個CF150閘板 閥（直接與分子泵相連）、1個KF16法蘭（安裝電阻規）、5個CF35法蘭（1個安裝電離規，4個備用，便于 安裝其他設備）。 4、在腔體底部配有5個水冷電極，可支持4個蒸鍍加熱舟。 5、4個蒸鍍加熱舟上方配有獨立的可移動擋板，有效地避免蒸發時相互污染。 6、樣品臺安裝在腔體的頂部。 7、腔內可裝高分辨率的薄膜測厚儀，精度為10?。 8、可使用循環水冷機。 |
技術參數 | 1、輸入：單相AC220V，50Hz/60Hz，zui大功率≤3.2KW 2、蒸發輸出：電壓AC 0-8V連續可調，zui大蒸發電流200A 3、真空腔：Φ300mm（內徑）×400mm，不銹鋼，內壁經電拋光處理
4、腔門：Φ200mm 5、觀察窗：Φ95mm，采用密封圈密封 6、真空泵：高抽速渦輪分子泵，抽速600L/s 7、真空度：5.0×10-6torr（泵開啟40min后） 8、極限真空度：5.0×10-7torr （加熱溫度為100℃-150℃） 9、漏率：5.0×10-7Pa/s 10、樣品臺：Φ140mm
11、蒸發舟與樣品臺間距：260mm 12、冷卻水需量：15L/min |
產品規格 | 尺寸：650mm×1200mm×1600mm；重量：600kg |
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