1： 流量術語
體積流量：也叫工況流量，即單位時間內實時溫度和壓力下流體流過管道橫截面的體積。小流量的代表單位一般為：ml/min和L/min。
標況流量：通過溫度、壓力補償后得到的體積流量。標況一般定義（1）壓力：1個大氣壓（101.325KPa）（2）溫度：0℃/15℃/20℃/25℃，具體溫度定義可自選。易度流量控制器默認(25℃,101.325KPa)，單位一般為：SCCM和SLPM 。
質量流量：單位時間內流體流過管道橫截面的質量 。易度質量流量控制器測量出的是標況流量，需要計算氣體實際質量時，可用密度乘以標況流量即可得出。
瞬時流量：當時間很短時，流體流過一定截面的量稱為瞬時流量。
累計流量：氣體通過某一截面的瞬時流量在一定時間內的累積值。
設定流量：質量流量控制器專用術語，MFC通過控制比例調節閥的開度使得流體流量穩定在某一固定流量值，設定流量一般為標況流量。
2 ：工況術語
工作溫度：包括被測介質溫度和使用環境溫度。易度質量流量控制器適用溫度范圍為：-50℃到110℃（介質）。
工作壓力：指流經質量流量計/質量流量控制器時，被測氣體的絕對靜壓。易度質量流量控制器適用工作壓力一般為1MPa以下，最大不能超過3MPa。壓力單位一般為：MPa、KPa、
Pa、Psi，易度產品可自如切換。
耐壓：質量流量計/質量流量控制器在不損壞的情況下所能承受的最大壓力，易度質量流量控制器一般可承受的壓力為1MPa,最大2.5MPa。
壓差：氣體流經管路高壓端與低壓端的壓強差。
壓損：氣體流經質量流量計/質量流量控制器而產生的不可恢復的壓力降。易度質量流量計標準型號壓損為4KPa,最小可達400Pa。
預熱時間：主要針對熱式質量流量控制器，是指加熱金屬絲達到溫度穩定的時間。易度質量流量控制器無需預熱，可直接使用。
通訊方式：質量流量計/質量流量控制器與配套設備控制系統之間的通訊，常用的有模擬信號和數字信號。易度質量流量計/質量流量控制器通訊方式可選：模擬信號(4-20)mA、(0-5)V，數字信號RS485、Profibus等。
管路連接：質量流量計/質量流量控制器與管路的連接方式，根據管路材質（軟管、金屬硬管等）和管路內外徑尺寸，可選卡套接頭、VCR接頭、快插接頭、快擰接頭等。
介質：被測氣體的種類，易度質量流量計/質量流量控制器可測量單一純凈氣體，或明確氣體種類和比例的混合氣體。若為強腐蝕氣體，建議選用耐腐蝕型號。若為易燃易爆氣體，建議選用防爆型號。
3： 性能術語
量程：質量流量計/質量流量控制器可測得的最大流量，易度質量流量控制器量程范圍：從0.5sccm到5000slpm。
量程比：質量流量計/質量流量控制器能夠測量控制的最大流量和最小流量比值，易度質量流量控制器標準型量程比為100:1，也可定制更寬量程比。
精度：質量流量計/質量流量控制器測得的標況流量顯示值與標準裝置流量值的誤差比。易度質量流量控制器的精度為±1%S.P(設定值精度），最高可達±0.5%S.P(設定值精度）。
精度保證范圍：保證質量流量計/質量流量控制器精度的氣體流量范圍，易度質量流量控制器標準型號為：20%-100%F.S（滿量程），寬量程型可達10%-100%F.S（滿量程）。
重復性：在同一工作條件下，質量流量計/質量流量控制器對同一輸入值按同一方向連續多次測量的輸出之間的相互一致程度，也叫重復性誤差，易度質量流量控制器重復性可達±0.2%/F.S(滿量程）。
可靠性：質量流量計/質量流量控制器在一定時間內、在一定條件下地執行功能的能力或可能性。
響應時間：質量流量計/質量流量控制器接通電源后至其達到規定性能指標所需的時間，易度質量流量控制器具有毫秒級響應速度。
抗電磁干擾：電磁干擾是干擾電纜信號并降低信號完好性的現象，會造成流量計精度損失，特別是射頻電源對模擬信號的干擾現象尤為明顯，易度質量流量控制器抗電磁干擾能力強，經西安高壓電器研究所抗電磁干擾檢測認證。
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