產品介紹

IGS面板專用過濾器，用于半導體行業集成氣體輸送與控制系統，兼容C型和W型多種密封規 格，實現0.003μm級高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量，適助力設備升 級無憂。全316L不銹鋼構造，堅固耐用，緊湊體型融合全焊接與機械密封技術。采用符合SEMI標準的 表面安裝元件，便于系統集成與模塊化設計升級，安裝維護便捷高效。

產品特點

?不銹鋼粉末燒結介質，可快速排氣

?整體316L不銹鋼結構

?減少工藝腔體排氣時的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環境內制造、測試、包裝

?100%完整性測試通過

?100%氦氣泄露檢測通過

?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

?防止微?；烊?，幫助提高產品合格率

?可根據安裝空間進行設計