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恒歌大流量異形半導體過濾器

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  • 型號
  • 品牌 恒歌
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 深圳市
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更新時間:2024-11-11 16:55:54瀏覽次數:446

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產品簡介

供貨周期 一周 貨號 hk202353101
主要用途 氣液過濾 材質 不銹鋼
特性 耐高溫、耐腐蝕、易清洗 工作溫度 600℃
定制 來圖打樣
大流量氣體過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達0.003μm,滿足超高純工藝需求。整體金屬構造,是高溫動態環境下的理想過濾解決方案

詳細介紹


用于半導體應用的高純半導體大流量過濾器

產品介紹

大流量氣體過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達0.003μm,滿足超高純工藝需求。整體金屬構造,是高溫動態環境下的理想過濾解決方案


產品特點

?不銹鋼粉末燒結介質,可快速排氣

?整體316L不銹鋼結構

?減少工藝腔體排氣時的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環境內制造、測試、包裝

?100%完整性測試通過

?100%氦氣泄露檢測通過

?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

?防止微粒混入,幫助提高產品合格率

?可根據安裝空間進行設計








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