當前位置:九域半導體科技(蘇州)有限公司>>硅片方阻測試儀>>硅片電阻率測試儀>> 金剛石厚度TTV測試儀
?金剛石厚度測試的方法主要包括以下幾種?:
?X射線檢測?:將樣品放置在X射線檢測機的樣品室載物臺上,曲面朝上,用美工膠紙固定。調整工作電壓至90KV,工作電流100μA,選擇合適的放大倍數拍照、測量并保存數據。X射線檢測可以清晰地顯示金剛石復合片的邊界和各層厚度?1。
?超聲檢測?:使用水浸超聲掃描顯微鏡設備進行檢測。將金剛石復合片放入設備探頭正下方,校準探頭及工件參數,進行超聲檢測。超聲C掃描呈像可以清晰地顯示金剛石復合片的厚度和內部缺陷情況,如裂痕和空洞等?2。
?三維工業CT/X-RAY?:通過三維工業CT或X射線掃描設備,可以提供高精度的內部缺陷檢測。這種方法適用于芯片和電子器件的內部缺陷檢測,能夠精準定位內部問題?
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