可以通過渦流測量高精度和分辨率為1毫米的方式來測量晶圓片或晶塊的電阻率。由于距離相關(guān)的內(nèi)部布局矩陣，渦流傳感器有一個非常好的長期穩(wěn)定性因此，每個電阻率圖都是測量表面接地度的幾何圖。電阻率可與少數(shù)負載流子消耗和光電導(dǎo)率圖同時測量。在進行電阻測量時，需要用戶提供樣品的厚度。

• 步徑≥1mm

• 邊緣：12mm

• 電阻率片厚：150-250μm

• 電阻率范圍

• 默認設(shè)置：0.5-5 Ohm cm

• 準確度：< 3%

• 重復(fù)性：< 1%(范圍從0.5-3 Ohm cm)

為了研究發(fā)射極擴散的均勻性，有可能出現(xiàn)較弱的發(fā)射極的方阻。基礎(chǔ)的電阻率由用戶給出。

• 方阻測量范圍為0.1-200 Ohm/sq。

• 以標(biāo)準樣品量下的準確度，

• 0.1-10 Ohm/sq：< 3 % 精度

• 10-100 Ohm/sq：< 3 % 精度

• 100-200 Ohm/sq：< 3 % 精度