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2-100nm XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀

具有高分辨率和效率的多功能光譜儀

隨著在半導體制造中使用 13.5 nm輻射的 EUV 光刻技術的發展，極紫外輻射（EUV、XUV）已成為一個重要的工業意義。這導致對高分辨率和靈敏的診斷和測量技術的需求。因此，我們構建了一個模塊化的 XUV / EUV 和軟 X 射線光譜儀，可用于等離子體光譜學、源診斷和計量學。它te別適用于激光等離子體源（LPS）和高次諧波源（高次諧波產生high harmonic generation，HHG）。

該光譜儀設計靈活，適用于多種應用。對于廣泛的幾何形狀，可以獲得非常高的光譜分辨率。通常，分辨率僅受檢測器系統像素大小的限制（XUV CCD 為 13.5 µm）。光譜儀的所有部件都是 UHV 級的。

2-100nm XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀

公司簡介

筱曉(上海)光子技術有限公司成立于2014年，是一家被上海市評為高新技術企業和擁有“上海市專精特新企業稱號"的專業光學服務公司，業務涵蓋設備代理以及項目合作研發，公司位于大虹橋商務板塊，擁有接近2000m2的辦公區域，建有500平優良的AOL(Advanced Optical Labs)光學實驗室，為國內外客戶提供專業技術支持服務。公司主要經營光學元件、激光光學測試設備、以及光學系統集成業務。十年來，依托專業、強大的技術支持，以及良好的商務支持團隊，筱曉的業務范圍逐年增長。目前業務覆蓋國內外各*高校、*科研機構及相關領域等諸多企事業單位。筱曉擁有一支核心的管理團隊以及專業的研發實驗室，奠定了我們在設備的拓展應用及自主研發領域堅實的基礎。

公司自成立以來，始終遵循行業、誠信發展、探索創新、務實致遠、以質取勝的服務理念，并在產品開發和銷售中貫徹到底。公司自始至終秉承著國際標準的質量安全保障。多年來，公司一直致力于光學設備的設計開發，以及知識產權的保護。我們將不斷完善管理機制和技術水平，為客戶提供更安全環保的產品以及更優質的服務。