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產品簡介
3D光學干涉輪廓儀是利用光學原理開發的非接觸測量儀器，更能滿足現代工業數字化測量的高精度、低成本和小型化需求。
詳細介紹
3D光學干涉輪廓儀是利用光學原理開發的非接觸測量儀器，更能滿足現代工業數字化測量的高精度、低成本和小型化需求。具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
3D光學干涉輪廓儀工作原理
光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光匯聚并發生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
NanoX-2000/3000系列3D光學干涉輪廓儀優勢
1、美國硅谷研發的核心技術和系統軟件
2、關鍵硬件采用美國、德國、日本等品牌
3、PI納米移動平臺及控制系統
4、Nikon干涉物鏡
5、NI信號控制板和Labview64控制軟件
6、TMC光學隔振臺
7、測量準確度重復性達到高級水平(中國計量科學研究院證書)
