布魯克 Micro-XRF On SEM 光譜儀存在一系列不同的分析技術，以便從代表單一礦物相的較小區域獲取地球化學信息。常見的分析技術基于電子束（e-beam）源，即電子探針微分析儀 （EPMA） 或帶有能量分散光譜儀的 SEM（SEM - EDS)。

同樣，Micro-XRF分析可被視為電子束激發的補充技術，它也提供小區域樣本信息。Micro-XRF 基于光子激發，樣品會直接通過 X 射線 （(X-Ray-beam） 發生作用，與傳統的基于電子束的系統相比，X 射線束具有明顯的差異。現代 X 射線多面體光學的可用性使 X 射線能夠聚焦到小于 30μm 的點大小，并且所有光片都包含在XTrace，可安裝在可用SEM端口上的XRF源（圖1）。這導致顯微鏡系統具有雙光束的潛力，即電子束和X射線束。因此，可以使用與電子束系統類似的參數操作 Micro-XRF 系統，從而產生與傳統點 SEM-EDS 分析相媲美的結果，同時從X射線光束樣本相互作用中獲取其他信息。

布魯克 Micro-XRF On SEM 光譜儀是利用掃描電子顯微鏡（SEM）對傳統能量分散光譜（EDS）分析的一種互補的無損分析技術。這種分析對于在未知樣本中描述元素成分非常重要，從大厘米大小的同構標本到小微米顆粒。

X射線激發對微量元素檢測（某些元素的靈敏度低至10ppm）、擴展的 X 射線光譜范圍（高達 40 keV）以及樣本中更深入的信息具有更高的靈敏度。

配備X射線管，結合微聚焦X射線光學，可產生30μm的小點大小，具有高強度信號產額。

模塊化的壓電陶瓷piezo-based stage，專門設計安裝在現有的SEM階段之上，使高速元素X射線秒掃描mapping"“on the fly"大面積高達4毫米/秒的速度。這使X射線映射數據能夠在50x50 mm（或更高）的樣本大小上采集，將光元素光譜數據以及微量元素和/或更高能量X射線數據整合到快速且用戶友好的工作流中。

X射線激發的更大深度允許多層系統從1納米開始，范圍高達40μm，這是不可能被電子激發出來的。