高效率—— 根據(jù)20/80原則,車間現(xiàn)場80%的批量工件僅需做常規(guī)快速抽檢,不需要做詳細(xì)分析,因此可以使用400機(jī)型達(dá)到快速檢測。用于半導(dǎo)體、集成電路、低壓電器等行業(yè)的生產(chǎn)線的制程管控。適用于車間現(xiàn)場或小型理化實驗室。
產(chǎn)品參數(shù)
1、工作電源:220V/50Hz,1KW;
2、最大掃描范圍:手動:260mm×100mm×50mm;自動:260mm×25mm×50mm
3、整機(jī)尺寸:800mm×600mm×13000mm;(標(biāo)配)
4、水槽尺寸:380mm×240mm×110mm
5、探頭頻率范圍:1~50MHz;(標(biāo)配,可升級至230MHz);
6、推薦圖像分辨率:0.5um ~ 4000um;
7、典型掃描耗時:<45s (測試條件:掃描區(qū)域10mmX10mm,分辨率50um);
8、最大掃描速度:300mm/s;最大掃描加速度:5m/s2;
9、運(yùn)動臺定位精度:X/Y向<±1um,Z向<±10um;重復(fù)定位精度:X/Y向<±0.01mm,Z向<±0.02mm。
10、采樣頻率:25~250MHz;(標(biāo)配,可升級至1.5GHz);
11、每通道可調(diào)增益:-13~66dB;(標(biāo)配,可升級);
12、脈沖重復(fù)頻率:5kHz;(標(biāo)配,可升級)。