光解速率主要是利用UV紫外燈的能量使空氣中的分子變成游離氧，游離氧再與氧分子結合，從而生產強氧化能力的臭氧，用于破壞VOCs中的有機或無機高分子化合物的分子鏈，使之成為如CO2或H2O等物質。光解主要是利用波長為185nm的光波，使O2結合產生的臭氧，對VOCs進行分解。
光解速率是體現我國大氣復合污染特征的關鍵參數，是不同污染物相互作用的樞紐。NO2的光解是對流層臭氧形成關鍵影響因子之一。然而光解與氣溶膠相互作用及光解對臭氧和二次氣溶膠生成貢獻的問題仍缺乏深入研究。
光解的工藝流程：
預處理系統，如：水洗系統、活性炭吸附系統、除塵系統等。
設置預處理系統的目的主要是對廢氣進行預處理，其中包括粉塵和酸性氣體等物質的去除，同時進行降溫處理。對廢氣進行降溫的目的在于預先除去一部分高沸點的VOCs，這一點在采用光解法處理餐廚油煙時作用特別顯著。此外，在排氣濃度和氣量不穩定的場合，還需設置廢氣緩沖裝置，以獲得穩定的廢氣流量和濃度，以保障光解裝置的正常工作。
凈化系統，光解凈化系統的設計相對比較簡單，當廢氣種類及濃度確定的情況下，凈化系統的主要設計任務在于選擇合適的紫外光能，一般情況下，當廢氣濃度在400uL/L時，配比14KW左右的紫外光基本可滿足需求。
光解過程可分為三類:第一類稱為直接光解，這是化合物本身直接吸收了太陽能而進行分解反應;第二類稱為敏化光解，水體中存在的天然物質(如腐殖質等)被陽光激發，又將其激發態的能量轉移給化合物而導致的分解反應;第三類是氧化反應，天然物質被輻照而產生自由基或純態氧(又稱單一氧)等中間體，這些中間體又與化合物作用而生成轉化的產物。
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