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PicoFemto透射電鏡原位MEMS低溫電學測量系統

澤攸透射電鏡原位MEMS低溫電學測量系統，是在標配MEMS芯片樣品桿上集成低溫控制模塊，實現低溫電學測量或全溫區測量功能。

性能指標：

1.透射電子顯微鏡指標：

（1）兼容指*型號電鏡及極靴；

（2）單傾可選高傾角版本；

（3）可選雙傾版本，β角傾轉±25°（同時受限于極靴）；

（4）測量電極數可選。

2.電學測量指標：

（1）包含一個電流電壓測試單元；

（2）電壓輸出最大±200 V，最小±100 nV；

（3）電流測量最大±1.5 A，最小100 fA；

（4）恒壓或者恒流模式；

（5）自動電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t）測量，自動保存。

3.低溫指標：

（1）兼容MEMS加熱及電學芯片；

（2）全溫區測量，溫度范圍：85 K- 380 K；

（3）控溫穩定性：優于±0.1 K；

（4）溫度連續可控。