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| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 綜合 |
FMSZ-P系列壓電電機升降臺
l行程覆蓋20mm、50mm
l整體臺面升降、斷電自鎖
l開環分辨率納?級，閉環分辨率0.1μm
l免費標準版SDK
l高性能控制器
l可選配EtherCAT總線控制
產品簡介
FMSZ-P系列壓電電機升降臺：針對迷你、微步、自鎖，整體臺面的應用，我們開發了壓電電機升降臺，采?瑞典進口壓電電機，瑞士進口高等級導軌。不僅僅具有微步力，雙向重復定位精度也很高，也可斷電自鎖。
產品應用
l真空
l樣品臺
l姿態調整
l光學測試
l光學設備
性能實測
FMSZ85P-20
FMSZ115P-50
接線定義
電氣接口
產品圖紙
FMSZ85P-20
FMSZ115P-50
產品參數
Model | FMSZ85P-20 | FMSZ115P-50 |
?程(mm) | 20 | 50 |
負載(Kg) | 4 | 4 |
分辨率(μm) | 0.1 | 0.1 |
最?步進量(μm) | 0.3 | 0.3 |
單向重復定位精度/保證值(μm) | ±1 | ±1 |
單向重復定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±0.5 |
雙向重復定位精度/保證值(μm) | ±2 | ±2 |
雙向重復定位精度/典型值(μm) | ±1 | ±1 |
定位精度/保證值(μm) | ±5 | ±10 |
定位精度/典型值(μm) | ±2 | ±5 |
最?速度(mm/s) | 5 | 5 |
直線度(μm) | 10 | 10 |
平整度(μm) | 10 | 10 |
偏擺 | 20 | 20 |
俯仰 | 20 | 20 |
持續推?(N) | 20 | 40 |
峰值推?(N) | 20 | 40 |
重量(kg) | 1.2 | 2.3 |
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