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| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 石油,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單"的臺式高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。特征：可變更電極構造提高等離子效果。搭載高精度適配器，高性能RF 電源。可根據需求規格提供定制。
產品簡介
詳細介紹
YAMATO等離子裝置，13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機，搭載 RIE·DP 雙模式。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。
特征：
- 可變更電極構造提高等離子效果。
- 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
- 可根據需求規格提供定制。
用途：
- 硅晶圓的灰化及蝕刻
- 基板表面污垢處理
- IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
- 半導體相關部品的電子材料的干式清洗
- 自然氧化膜·有機物去除
- 界面活性處理
- 表面污染物去除
技術參數：
型號 | V1000 | V1000X | V1000XS |
等離子模式 | DP/RIE | ||
高頻電源 | 13.56MHz | ||
輸出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
有效電極尺寸 | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
電極 | 平行平板 | 2段電極（獨立） | 平板（多目的） |
反應氣體 | 聚合控制器2系統（填充氣路另行安裝） | ||
真空泵（標配） | 約1000L/min | 約1500L/min | 1000 & 1500L/min |
安全裝置 | 門檢測開關、聯鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等 | ||
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PDC600小型、多段式等離子清洗機。
用途：
- 提高各種材料的粘接性、表面改質處理
- 灰化、蝕刻處理
- 塑料封裝前處理
- 印刷基板鍍層前處理
- LED關聯部品處理
- 電子部品清洗
- 光刻膠剝離或表面殘留物去除
- 光學、金屬、機械部品等精密部件的清洗
- 包含氟化樹脂的樹脂類產品表面改質
- FCC對應
特征：
- YAMATO等離子裝置，600W的小型高輸出功率
- 電極可選擇1·2·3段（采購時選）
- 可處理縱型的試料收納盒
- 可選擇RIE/DP模式（采購時選）
- 數據記錄器（選配）
- 適配點記憶功能（選配）
技術參數：
型號 | PDC610 |
等離子模式 | RIE/DP（固定模式） |
電極構造 | 3段獨立平行平板（固定） |
高頻輸出 | Max600W |
頻率 | 13.56MHz |
控制·顯示方式 | PLC·觸摸屏 |
反應腔尺寸 | W350×D270×H300mm |
反應腔材質 | A5052 |
反應氣體 | 2系統（Ar、O2） |
填充氣體 | N2或干燥空氣 |
真空泵 | 油泵（約345L/分）·標配 |
外形尺寸 | W600×D722×H700mm |
外裝材質 | 不銹鋼 |
電源 | 3 相 AC200 50/60Hz 15A |