高精度鉑電阻溫度傳感器

產品概述

高精度鉑電阻溫度探頭采用行業的真空 PVD 沉積、 MEMS 精密加工等技術，已經完成 -70℃  ～ 1000℃寬溫區傳感器芯片國產化。主要技術指標達到進口產品水平，具備 MEMS 加工優良技術裝備和工藝， 可以為客戶提供 MEMS 工藝代加工和傳感器芯片開發合作業務。可用于各類儀器儀表制造業和制造各種溫 度傳感器，更適合對溫度測量精度要求比較高的科研領域和工業領域；鉑電阻芯片可提供 100Ω、200Ω、 1000Ω 等阻值的元件。在高溫下能夠保持優良的穩定性，有良好的絕緣性，鉑電阻溫度范圍 -70° C ～ 1000° C。

高精度鉑電阻溫度傳感器產品特點

1. 可用于各類儀器儀表制造業和制造各種溫度傳感器，更適合對溫度測量精度要求比較高的科研領域和工業領域；

2. 鉑電阻芯片可提供100Ω、200Ω、1000Ω等阻值的元件；

3. 在高溫下能夠保持優良的穩定性，有良好的絕緣性，鉑電阻溫度范圍是-70℃~1000℃；

4. 高性能和長壽命特性；

5. 引腳材料為鉑銥絲；

6.1000℃50小時R（℃）的阻值漂移≤0.1％；

7.10至1000Hz的頻率加速度≥40g。

高精度鉑電阻溫度傳感器產品參數

高精度鉑電阻溫度傳感器性能指標

性能偏差

性能測試

產品經過 1000℃連續 50 小時加熱后，測試 0℃阻值的結果見圖1

公司產品與進口產品在相同測試條件下測得的溫度數據見圖2

1000℃/50小時老化試驗Aging Test at 1000℃ for 50 Hours

燒結前Before heating 燒結后After heating

圖1老化試驗阻值變化

溫度特性對比

公司產品 進口產品

圖 2 產品性能對比試驗